Trífhluairíd Nítrigine (NF3) Gás Ardíonachta
Eolas Bunúsach
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Cad é an t-ábhar seo?
Is gás gan dath agus gan bholadh ag teocht an tseomra agus brú an atmaisféir é trifluairíd nítrigine (NF3). Is féidir é a leachtú faoi bhrú measartha. Tá NF3 cobhsaí faoi ghnáthchoinníollacha agus ní dhianscaoileann sé go héasca. Mar sin féin, féadann sé dianscaoileadh nuair a bhíonn sé faoi lé teochtaí arda nó i láthair catalaíoch áirithe. Tá ardacmhainneacht téimh dhomhanda (GWP) ag NF3 nuair a scaoiltear isteach san atmaisféar é.
Cá háit a n-úsáidfear an t-ábhar seo?
Gníomhaire glantacháin sa tionscal leictreonaic: Úsáidtear NF3 go forleathan mar ghníomhaire glantacháin chun ábhar salaithe iarmharach a bhaint, mar shampla ocsaídí, ó dhromchlaí leathsheoltóirí, painéil taispeána plasma (PDPanna), agus comhpháirteanna leictreonacha eile. Is féidir leis na dromchlaí seo a ghlanadh go héifeachtach gan dochar a dhéanamh dóibh.
Gás eitseála i ndéantúsaíocht leathsheoltóra: Úsáidtear NF3 mar ghás eitseála i bpróiseas monaraíochta leathsheoltóirí. Tá sé éifeachtach go háirithe maidir le dé-ocsaíd sileacain (SiO2) agus nítríde sileacain (Si3N4) a eitseáil, ar ábhair choitianta iad a úsáidtear i ndéanamh ciorcaid chomhtháite.
Táirgeadh comhdhúile fluairín ard-íonachta: Is foinse luachmhar fluairín é NF3 chun comhdhúile éagsúla ina bhfuil fluairín a tháirgeadh. Úsáidtear é mar réamhtheachtaí i dtáirgeadh fluarapolymers, fluaracarbóin, agus ceimiceáin speisialtachta.
Giniúint plasma i ndéantúsaíocht taispeána painéil chomhréidh: úsáidtear NF3 in éineacht le gáis eile chun plasma a chruthú i dtáirgeadh taispeántais painéil chomhréidh, mar shampla taispeántais criostail leachtacha (LCDanna) agus PDPanna. Tá an plasma riachtanach sna próisis sil-leagan agus eitseála le linn monarú painéil.
Tabhair faoi deara go bhféadfadh feidhmchláir agus rialacháin ar leith maidir le húsáid an ábhair/táirge seo a bheith éagsúil de réir tíre, tionscail agus cuspóra. Lean na treoirlínte sábháilteachta i gcónaí agus téigh i gcomhairle le saineolaí sula n-úsáideann tú an t-ábhar/táirge seo in aon fheidhmchlár.
